MEMS熱電堆——讓深硅刻蝕成為行業(yè)新寵
深硅刻蝕技術在工業(yè)界應用廣泛，包括集成電路制造、微機電系統(tǒng)（MEMS）制造和微納光子學的研究等領域，其經歷了由濕法刻蝕到干法
2020-04-29
6項微機電系統(tǒng)（MEMS）技術國家標準獲批發(fā)布 助力行業(yè)高質量發(fā)展
2024年9月29日，市場監(jiān)管總局（國家標準委）發(fā)布2024年第22號國家標準公告，批準發(fā)布《微機電系統(tǒng)（MEMS）技術 傳感器用MEMS壓電薄膜的環(huán)境試驗方法》（GB/T 44513-2024）等六項微機電系統(tǒng)（MEMS）技術國家標準，計劃于2025年4月前陸續(xù)實施。這六項國家標準由全國微機電技術標準化技術委員會（SAC/TC336）歸口，明確了MEMS
2024-10-17
昆博研究院牽頭起草MEMS硅壓阻溫壓復合壓力傳感器芯片國家標準
日前，全國標準信息公共服務平臺公開發(fā)布信息，由昆山昆博智能感知產業(yè)技術研究院有限公司（簡稱：昆博研究院）牽頭起草的《微機電系統(tǒng)（MEMS）技術 MEMS硅壓阻溫壓復合壓力傳感器芯片》獲批立項，正式進入起草階段，這是該研究院第二次牽頭制定國家標準。圖片近年來，昆山昆博智能感知產業(yè)技術研究院有限公司憑借其專業(yè)的
2024-08-11
欣“芯”向榮！安徽出臺14條舉措打造智能傳感產業(yè)集群
5月25日，在第六屆中國（蚌埠）MEMS智能傳感器產業(yè)發(fā)展大會上，安徽省人工智能產業(yè)推進組發(fā)布《關于支持中國傳感谷發(fā)展若干政策》，通過支持加大投入、創(chuàng)新發(fā)展、人才引育等五個方面的14條舉措，支撐安徽省蚌埠市立足中國傳感谷打造皖北地區(qū)高質量發(fā)展增長極和智能傳感產業(yè)集群新高地。圖片政策中提出，在支持加大投入方面
2024-05-27
為狀態(tài)監(jiān)控選擇MEMS加速度計時，這些經常被忽視的參數(shù)
MEMS加速度計對于檢測故障情況、幫助防止意外斷電或避免發(fā)生其他代價高昂的事件至關重要，但我們在選擇和安裝合適的MEMS傳感器之前，需要仔細考慮多個關鍵參數(shù)，然而這些參數(shù)常常被忽視。本文將討論您在做出選擇時應特別留意的一些關鍵標準。狀態(tài)監(jiān)控 CbM是利用傳感器監(jiān)測機械系統(tǒng)可能出現(xiàn)的潛在缺陷或損壞的過程。CbM用于
2023-08-12
一起了解Mems加速度傳感器特點
微機電系統(tǒng)，Micro-Electro-Mechanical-SySTems，簡稱MEMS，基于MEMS技術的加速度傳感器已有30多年的發(fā)展歷史，但因為存在技術和成本等客觀發(fā)展因素的限制，未能像電子消費產品一樣進入市場。目前，由于MEMS加速度傳感器技術的進步，如今低功耗、高性能的MEMS加速度傳感器已經改變了市場新的傳感器市場發(fā)展趨勢。mems加速度
2020-12-14
電子工程師最關注什么？調查顯示五大傳感器技術趨勢
近日，專注傳感器行業(yè)的國外網站FierceElectronics對2020年電子工程師感興趣的主題進行了調查，調查顯示，按照排名順序，電子工程師最關注的主題領域是：微機電系統(tǒng)、物聯(lián)網和連接設備、自動駕駛汽車、低功耗和電源管理、系統(tǒng)設計。是什么趨勢促使人們對這些主題產生興趣？一、MEMS 自從將MEMS用于檢測鋼中應變的第一個商業(yè)
2020-06-24
帶你了解MEMS陀螺儀的工作原理
陀螺儀是用來測量角速率的儀器，在加速度功能基礎上，可以進一步發(fā)展，構建陀螺儀。陀螺儀的內部原理是這樣的：對固定指施加電壓，并交替改變電壓，讓一個質量塊做振蕩式來回運動，當旋轉時，會產生科里奧利加速度，此時就可以對其進行測量；這有點類似于加速度計，解碼方法大致相同，都會用到放大器。角速率由科氏加速度測
2020-05-13
應用于MEMS產品的精密電子零部件及制造技術
一、精密電子零部件概述 微機電系統(tǒng)（MEMS）是指尺寸在毫米級甚至微米級的微型電子裝置，主要可分為微型傳感器和微型執(zhí)行器兩個大類。由于MEMS的尺寸較小，用于生產MEMS產品的零部件通常也相對較小，一般僅為幾毫米，因此MEMS產品對精密零部件的加工精密度要求非常高。根據(jù)功能和作用的不同，應用于MEMS產品的常見精密電子
2020-04-01
中國傳感器發(fā)展的外患內憂及政策解讀
數(shù)字化技術驅動產業(yè)升級，產品逐步進入智能階段。繼互聯(lián)網之后，與國民經濟息息相關的物聯(lián)網也被推到了風口浪尖，根據(jù)此前全球物聯(lián)網發(fā)展數(shù)據(jù)來看，2018年全球物聯(lián)網市場規(guī)模突破千億美元。不可否認，未來，國內外物聯(lián)網的市場前景十分廣闊，但是就目前國內物聯(lián)網而言，從感知、傳輸、計算以及應用層面上依然存在亟待解決。
2019-12-10
掌握MEMS工藝變量 利用vHF氣相蝕刻SiO?
由于微機電系統(tǒng)（MEMS）產品的三維（3D）結構及其與生俱來的機械特性，制造MEMS器件面臨著獨特的挑戰(zhàn)。此類產品需要特定的微機械結構，以便實現(xiàn)包括振動、旋轉或其他動作類型的MEMS功能（圖1）。為此，MEMS制造工藝流程要求在傳統(tǒng)的半導體器件制造工藝流程中增加一個維度（高度），因為傳統(tǒng)的工藝僅用于制造平面型電子器件
2019-11-14
工信部：《智能傳感器產業(yè)三年行動指南》獲批
據(jù)消息，工信部電子信息司副司長彭紅兵日前透露，《智能傳感器產業(yè)三年行動指南（2017-2019）》已獲部長辦公會正式審議通過。該行動指南明確產業(yè)發(fā)展目標和方向就是傳感器的智能化，并制定了產業(yè)發(fā)展路線圖，確定了MEMS（微機電系統(tǒng)）工藝和集成電路工藝相結合的產業(yè)發(fā)展路徑，以及以市場應用為主導的政策扶持原則。
2017-05-09
西安交大在人工智能設計MEMS陀螺儀領域取得重要進展
采用微機電系統(tǒng)（MEMS）技術設計的MEMS陀螺具有體積小、功耗低、成本低、易于與集成電路集成等優(yōu)點，對微納衛(wèi)星、無人機群等先進裝備的大批量部署具有重要意義。MEMS陀螺儀正在取代造價昂貴的傳統(tǒng)陀螺儀，目前，中低
2024-11-06
北京大學高成臣團隊在MEMS壓力傳感器領域實現(xiàn)多項突破
2023年1月，某超小型MEMS壓力傳感器芯片成功研制，器件技術指標達到國際先進水平，為解決該項技術的“卡脖子”問題、實現(xiàn)產品自主可控邁出了堅實的一步。作為技術團隊的負責人，57歲的北京大學集成電路學院教授級高
2024-03-06
利用MEMS振動傳感器實現(xiàn)汽車外部拾音
汽車行業(yè)近些年正在經歷一場巨變，越來越多的電子元器件正被集成到汽車之中，以提高駕駛員和乘客的安全性和舒適性。甚至，如今的汽車已經比幾十年前的超級計算機，擁有更高的算力和功能。自動駕駛汽車現(xiàn)在似乎已經準
2023-12-22
萬分級高精度MEMS諧振式壓力傳感器轉化應用取得新進展
中國航天科技集團有限公司九院704所完成了萬分級高精度MEMS諧振式壓力傳感器研制，為新一代裝備和先進工業(yè)領域實現(xiàn)自主可控和升級換代提供核心關鍵產品。圖片“高精度MEMS諧振式壓力傳感器涉及電子、機械、材料、熱
2023-11-09
電科思儀110GHz同軸探針步入國際先進行列
微波測量探針廣泛應用于射頻集成電路在片測試、管結參數(shù)提取、MEMS器件測試等領域，是發(fā)展半導體產業(yè)的必備工具。中電科思儀科技股份有限公司于2022年1月正式推出Ceyear36102系列寬頻帶同軸探針，集現(xiàn)代微波毫米波寬
2022-09-15
研究人員利用大面陣窄帶F-P干涉儀，實現(xiàn)長波紅外光譜傳感
西澳大利亞大學研究人員利用基于MEMS的固定腔法布里-珀羅（F-P）干涉儀實現(xiàn)了在長波紅外（LWIR）波段的光學遙控成像和傳感，并完成了該光譜系統(tǒng)的輕型化和便攜式。F-P干涉儀基于鍺 (Ge) 氟化鋇 (BaF2) 薄膜分布式布
2022-06-24
東南大學研發(fā)可穿戴無縫多模傳感器，可識別不同關節(jié)運動狀態(tài)
近日，東南大學電子科學與工程學院MEMS教育部重點實驗室的孫立濤教授研究團隊在MicrosystemsNanoengineering上報道了一種新型可穿戴無縫多模傳感器，該傳感器能夠解耦壓力和應變刺激，并識別不同的關節(jié)運動狀態(tài)。在
2022-03-11
MEMS鍵合工藝成就單芯片“可見光+短波紅外”高光譜成像
近年來，人們對短波紅外（在1000到2000納米之間）波段的成像需求不斷攀升。這些短波紅外傳感器在食品檢驗等行業(yè)至關重要，它們可以提供探測物體內部的能力，例如，可通過早期探測蘋果瘀傷，來防止整個蘋果變壞（如圖
2020-08-07
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1. 羅德與施瓦茨重磅參展IBC 2019——將展示 5G 廣播技術下監(jiān)控即服務（MaaS）, IP多畫面監(jiān)看等
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2. 搭建供需橋梁 深化交流合作——上海石化展采購對接會
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3. SNEC第十四屆(2020)國際太陽能光伏與智慧能源(上海)展覽會暨論壇
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4. 2019國際新型顯示技術展6月26日上海開幕 顯示黑科技閃耀
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5. 2020慕尼黑上海電子生產設備展：智引未來，加速創(chuàng)新
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6. 德國杜塞爾多夫國際冶金技術展覽會METEC
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7. 中美貿易摩擦下 7月10日迎來2019國際材質分析、實驗室設備及質量控制覽
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8. 美國拉斯維加斯國際消費類電子產品展覽會CES
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9. 2019年西班牙國際移動通信大會暨展覽會 MWC
