中國(guó)航天科技集團(tuán)有限公司九院704所完成了萬分級(jí)高精度MEMS諧振式壓力傳感器研制，為新一代裝備和先進(jìn)工業(yè)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)自主可控和升級(jí)換代提供核心關(guān)鍵產(chǎn)品。

“高精度MEMS諧振式壓力傳感器涉及電子、機(jī)械、材料、熱學(xué)、力學(xué)、化學(xué)等多學(xué)科的復(fù)雜交互融合，涵蓋基礎(chǔ)理論、設(shè)計(jì)、工藝制程、封裝測(cè)試、設(shè)備裝備等多個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈環(huán)節(jié)”。704所相關(guān)項(xiàng)目負(fù)責(zé)人介紹。

萬分級(jí)高精度MEMS諧振式壓力傳感器主要技術(shù)指標(biāo)比傳統(tǒng)應(yīng)變式、壓阻式、電容式等原理的壓力傳感器高1~2個(gè)數(shù)量級(jí)，且具有數(shù)字化輸出、抗干擾、長(zhǎng)壽命和抗輻照等優(yōu)點(diǎn)，技術(shù)指標(biāo)、穩(wěn)定性、可靠性和環(huán)境適應(yīng)性均達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。目前，該產(chǎn)品已應(yīng)用于航天發(fā)動(dòng)機(jī)壓力監(jiān)測(cè)、航空大氣數(shù)據(jù)系統(tǒng)等領(lǐng)域。

從航天航空應(yīng)用到民用市場(chǎng)全面拓展。704所大力推進(jìn)萬分級(jí)高精度MEMS諧振式壓力傳感器在海洋、氣象、計(jì)量校準(zhǔn)、過程工業(yè)、石油化工、能源等行業(yè)的產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。目前，萬分級(jí)高精度MEMS諧振式壓力傳感器已應(yīng)用于海洋監(jiān)測(cè)、氣象觀測(cè)等領(lǐng)域，為實(shí)現(xiàn)航天技術(shù)產(chǎn)業(yè)價(jià)值奠定了扎實(shí)的基礎(chǔ)。

后續(xù)，704所將基于核心MEMS敏感芯片和傳感器技術(shù)，進(jìn)一步開發(fā)高端儀器和感知測(cè)量系統(tǒng)，形成“芯片+傳感器+儀器+系統(tǒng)”的信息感知模式，推進(jìn)產(chǎn)品譜系化、規(guī)模化、產(chǎn)業(yè)化發(fā)展。