從設(shè)計(jì)、制造、封裝、測(cè)試到最后的終端出廠和銷(xiāo)售，一枚小小的芯片，要經(jīng)歷一個(gè)復(fù)雜而又漫長(zhǎng)的流程。
對(duì)于這些流程，許多半導(dǎo)體從業(yè)者都能如數(shù)家珍。然而，半導(dǎo)體廠房的建設(shè)圖景卻鮮為人知。6月25日，懷揣對(duì)芯片廠房的好奇，記者走進(jìn)重慶首個(gè)8英寸MEMS特色芯片全產(chǎn)業(yè)鏈項(xiàng)目——奧松半導(dǎo)體 8 英寸 MEMS 特色芯片 IDM 產(chǎn)業(yè)基地一期項(xiàng)目（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“奧松半導(dǎo)體”）建設(shè)現(xiàn)場(chǎng)，揭露芯片廠房長(zhǎng)啥樣。
▲項(xiàng)目建設(shè)現(xiàn)場(chǎng)。受訪單位供圖
在位于重慶高新區(qū)曾鳳路上，一棟棟泛著金屬光澤的銀灰相間建筑格外醒目——這是奧松半導(dǎo)體項(xiàng)目的所在地。該項(xiàng)目作為重慶半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)生態(tài)的重要一環(huán)，建成后，將有力保障數(shù)字城市、新能源汽車(chē)等眾多支柱產(chǎn)業(yè)和新興產(chǎn)業(yè)核心部件的供應(yīng)鏈安全，為國(guó)內(nèi)新質(zhì)生產(chǎn)力產(chǎn)業(yè)體系構(gòu)建注入強(qiáng)大動(dòng)力。
目前，該項(xiàng)目建設(shè)進(jìn)入倒計(jì)時(shí)，正在進(jìn)行核心工藝設(shè)備搬入前準(zhǔn)備，預(yù)計(jì)8月正式通線試產(chǎn)。
▲項(xiàng)目建設(shè)現(xiàn)場(chǎng)。受訪單位供圖
步入快要成型的無(wú)塵車(chē)間，地面的特殊構(gòu)造立即吸引了記者的注意：原以為是工業(yè)毛坯的水泥地面，竟密布著規(guī)則排列的圓形狀孔洞。
“很多人第一次看到，可能會(huì)好奇為什么地上有那么多孔洞?！眾W松半導(dǎo)體項(xiàng)目負(fù)責(zé)人李忠告訴記者，這些間距有序分布的孔洞實(shí)則叫“華夫筒”，它的作用是使?jié)崈魵饬鞲鶆虻貜奶旎ò逅惋L(fēng)孔流出，已逐漸成為高端半導(dǎo)體廠房的標(biāo)配技術(shù)。
“為什么半導(dǎo)體廠房潔凈室有黃光區(qū)？”記者好奇追問(wèn)。原來(lái)黃光區(qū)是光刻工藝的核心區(qū)域，其主要作用是通過(guò)特殊波長(zhǎng)的黃光照明為光刻膠處理提供安全環(huán)境，避免紫外線和短波長(zhǎng)可見(jiàn)光導(dǎo)致光刻膠提前發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。這個(gè)區(qū)域在涂膠、曝光前處理和顯影等關(guān)鍵工序中發(fā)揮著不可替代的作用，既能保護(hù)光敏材料不受干擾，又能維持工藝穩(wěn)定性，同時(shí)配合超高潔凈環(huán)境，確保光刻工藝的精度和芯片制造的良率。
▲快要成型的芯片生產(chǎn)無(wú)塵車(chē)間。受訪單位供圖
“黃光波長(zhǎng)避開(kāi)了光刻膠敏感的紫外波段，可確保光刻膠不會(huì)因環(huán)境光意外曝光，避免圖案損壞。”李忠解釋道。
據(jù)了解，芯片生產(chǎn)除了對(duì)環(huán)境的要求極為苛刻外，更對(duì)潔凈度有著超乎尋常的標(biāo)準(zhǔn)——這種“超凈化”要求直接體現(xiàn)在廠房設(shè)計(jì)上：芯片廠房的外立面幾乎不設(shè)置窗戶，以從建筑結(jié)構(gòu)層面隔絕外界污染。
據(jù)透露，項(xiàng)目正在對(duì)場(chǎng)地進(jìn)行深度清潔與精密檢測(cè)，從地面平整度到墻面密封性，為7月中旬的關(guān)鍵設(shè)備進(jìn)場(chǎng)做準(zhǔn)備。項(xiàng)目全面投產(chǎn)后，將成為重慶首個(gè)8英寸MEMS特色芯片全產(chǎn)業(yè)鏈項(xiàng)目，實(shí)現(xiàn)各類(lèi)MEMS半導(dǎo)體傳感器產(chǎn)品從研發(fā)到量產(chǎn)的無(wú)縫銜接。年產(chǎn)數(shù)億顆高端傳感器的產(chǎn)能規(guī)模，產(chǎn)品涵蓋溫濕度、壓力、氣體、光電等多個(gè)品類(lèi)，性能指標(biāo)將達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。
▲項(xiàng)目效果圖。受訪單位供圖
重慶作為西部工業(yè)重鎮(zhèn)，近年來(lái)以功率半導(dǎo)體和傳感器芯片為突破口，充分發(fā)揮汽車(chē)、電子信息等產(chǎn)業(yè)優(yōu)勢(shì)，通過(guò)政策引導(dǎo)和重大項(xiàng)目布局，正快速崛起為集成電路產(chǎn)業(yè)的新興高地。奧松半導(dǎo)體項(xiàng)目的落地投產(chǎn)，將進(jìn)一步鞏固重慶在MEMS傳感器領(lǐng)域的領(lǐng)先優(yōu)勢(shì)。
“科學(xué)城已形成完整的集成電路產(chǎn)業(yè)鏈，隨著奧松半導(dǎo)體等企業(yè)的加入，科學(xué)城的集成電路產(chǎn)業(yè)將迎來(lái)更加繁榮的發(fā)展局面?！笨茖W(xué)城有關(guān)負(fù)責(zé)人表示，目前，科學(xué)城已構(gòu)建了從EDA平臺(tái)、共享IP庫(kù)、芯片設(shè)計(jì)、制造到封裝測(cè)試的集成電路全新產(chǎn)業(yè)鏈，吸引了SK海力士、華潤(rùn)微電子、中國(guó)電科等一批知名集成電路企業(yè)聚集發(fā)展，初步形成涵蓋人才培養(yǎng)、產(chǎn)業(yè)孵化、驗(yàn)證仿真、工藝服務(wù)的產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新生態(tài)。
