中試平臺建設迎來新突破！7月11日，由廣東微納院建設的“半導體微納加工、半導體材料外延”兩大中試平臺實現產線貫通，吸引12家企業(yè)簽約合作項目，合作高校、院所、企業(yè)代表超180人參加，加速佛山半導體產業(yè)向“芯”發(fā)展。
廣東微納院半導體微納加工中試平臺通線。
12個項目簽約
強化企業(yè)集聚效應
活動上，“半導體微納加工、半導體材料外延”兩大中試平臺各簽約6個項目，將為半導體企業(yè)提供中試流片、客制化材料外延生長等多個服務。另外平臺通線后，具備8吋硅晶圓和氮化鎵晶圓加工能力，2-8吋氮化鎵基材料外延生長能力；其中晶圓加工產能為8吋5000片/月，材料外延生長總產能為4吋4000片/月。
半導體微納加工中試平臺項目簽約儀式。
其中，半導體材料外延中試平臺簽約客戶、廣州市鴻利秉一光電科技有限公司，主要生產紫外發(fā)光二極管、半導體激光器等半導體產品，多用于光固化、光醫(yī)療、消菌殺毒等領域。目前，國內在半導體激光芯片，尤其是綠光芯片的生產封裝方面遇到了較大的技術瓶頸，企業(yè)剛好依托平臺提供相應的設備及技術支持，實現技術難題突破。
“我們主要看中廣東微納院有很多新型的、先進的設備，可以依托微納院進行芯片定制研發(fā)，再由我們進行封裝技術攻關，一起推動紫外發(fā)光二極管和半導體激光器產品發(fā)展。”廣州市鴻利秉一光電科技有限公司研發(fā)總監(jiān)任榮斌說道。
而另一家簽約半導體微納加工平臺的企業(yè)——紅與藍半導體（佛山）有限公司，則看中了省、市、區(qū)各級政府對平臺的大力支持，以及平臺強大的資源背景。
“企業(yè)落戶佛山以來，受到市、區(qū)各級政府的大力支持。而且平臺在中國科學院蘇州納米所的支持下，組建了一支非常專業(yè)的團隊，無論在設備維護、保養(yǎng)、操作、運行等各個方面，都能為企業(yè)進行工藝研發(fā)提供了強有力的支撐，吸引我們不斷將資源向佛山傾斜。”紅與藍半導體（佛山）有限公司董事長楊戰(zhàn)武表示，企業(yè)聚焦寬禁帶化合物半導體材料，尤其是氮化鎵技術和產品的研發(fā)、制造。而目前平臺所能提供的8吋5000片/月的氮化鎵晶圓加工能力，對企業(yè)來說是一個巨大的福音。
截至目前，廣東微納院累計孵化引進各類半導體企業(yè)43家，企業(yè)估值超過30億元，在半導體微納加工和材料外延表征等方面形成顯著的特色和競爭力。
二期建設封頂
提升平臺服務容量
活動當天，歷時一年半建設的廣東微納院二期，迎來了封頂儀式。
廣東微納院二期封頂儀式。
依托半導體中試平臺，廣東微納院二期建設于2023年3月啟動，定位為產業(yè)孵化區(qū)，建有6萬㎡專業(yè)化半導體產業(yè)載體，其中潔凈廠房3.4萬平方米，預計2025年一季度設備安裝進場、二季度建成投產，將打造成為華南地區(qū)潔凈面積最大、產業(yè)鏈覆蓋最全的專業(yè)化技術驅動型主題園區(qū)。
廣東微納院副院長王暉介紹中試平臺規(guī)劃與建設情況。
廣東微納院副院長王暉表示，將一個毛坯的廠房變成能讓企業(yè)入駐后直接使用的潔凈車間，是一個非常復雜的系統(tǒng)性工程。其中包括水電氣以及各種環(huán)評資質，并非所有企業(yè)都具備建設半導體廠房的專業(yè)能力和充足資金?！拔覀儼寻雽w發(fā)展所需要素都先準備好，讓企業(yè)做到進駐即生產，從客戶變成鄰居?！?
據悉，平臺除了能提供專業(yè)設備、幫助企業(yè)進行半導體芯片技術攻關等中試服務外，還為企業(yè)提供了超凈場地，方便企業(yè)直接入駐，與平臺共建產線、共研技術、共育人才。以紅與藍半導體企業(yè)為例，入駐平臺后已在產線上完成氮化鎵（功率半導體）單步工藝調試，并于近期實現批量生產。預計后續(xù)完成良品率及成本（調優(yōu)）后，可初步形成年產（值）2000萬元的產業(yè)化合作。
接下來，廣東微納院還將持續(xù)擴大平臺建設。一是計劃投入約3億元購置新型設備，滿足日益增長的產能和企業(yè)個性化需求。二是推動三期產業(yè)加速區(qū)建設，建設標準廠房，打造半導體裝備、材料、器件等上下游產業(yè)主題園區(qū)。三是謀劃四期建設?！熬嚯x微納院一兩公里，有大概五六百畝地，如果后期需要開展四期建設，也是我們的選擇之一，政府部門也在幫我們規(guī)劃?！蓖鯐熣f道。
市、區(qū)聯(lián)動協(xié)力
加快半導體人才培養(yǎng)
《佛山市半導體及集成電路產業(yè)集群發(fā)展行動方案（2022-2025年）》提出，加強區(qū)域內行業(yè)企業(yè)和高校院所等開展溝通交流、技術合作活動，到2025年形成本地特色的半導體專業(yè)人才引進培養(yǎng)體系。
廣東微納院與華師大工學部簽約合作，共育半導體人才。
活動上，廣東微納院還與華南師范大學工學部舉行了合作簽約儀式，并與廣東綠展科技有限公司、廣東匯芯半導體有限公司、廣東鴻浩半導體設備有限公司等三家企業(yè)分別達成產學研合作，多方將開展多層次、多形式的合作，探索“企業(yè)家+科學家+工程師”的科技成果轉化新模式，以高校資源賦能、以科研院所工程化能力支撐，加速人才鏈、創(chuàng)新鏈和產業(yè)鏈的深度融合，實現科技與產業(yè)雙向奔赴。
廣東微納院、華南師范大學工學部與三家南海企業(yè)簽訂產學研合作協(xié)議。
據悉，7月9日，南海啟動全面深化校地融合高質量發(fā)展行動，并發(fā)布《關于加強校地合作推動科技創(chuàng)新和產業(yè)創(chuàng)新深度融合的工作方案》，將與區(qū)內10所高校（高職）全面深化戰(zhàn)略合作，通過優(yōu)勢互補、資源共享，高質量建設灣區(qū)產業(yè)科技創(chuàng)新高地，打造國內具有競爭力的科技創(chuàng)新開放環(huán)境，推動產業(yè)與科技互促雙強。
“今天，廣東微納院與華師大工學部合作簽約，是南海全面深化校地融合高質量發(fā)展系列活動的第二站，雙方將在成果轉化、儀器共享、人才培養(yǎng)和創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)等方面開展合作?！蹦虾^(qū)副區(qū)長勞劍峰表示，南海促成華師大工學部與廣東微納院的合作簽約，也是希望能夠將南海的這些資源與華師大工學部的資源進行共享，通過強強聯(lián)合，以科技創(chuàng)新推動產業(yè)創(chuàng)新，努力促進社會生產力實現新的躍升。
