光刻機(jī)進(jìn)場(chǎng) 開(kāi)啟“芯”動(dòng)力

助力廣東打造集成電路產(chǎn)業(yè)“第三極” 廣州增芯項(xiàng)目進(jìn)入調(diào)試投產(chǎn)準(zhǔn)備階段

3月11日10時(shí)40分左右，在廣州增芯科技有限公司一期廠房的潔凈室內(nèi)，在光刻區(qū)特有的淡黃色的燈光下，身穿防塵服的工作人員正忙著為新搬入的光刻機(jī)進(jìn)行定位。

當(dāng)日，增芯科技12英寸先進(jìn)智能傳感器及特色工藝晶圓制造量產(chǎn)線項(xiàng)目（簡(jiǎn)稱“增芯項(xiàng)目”）光刻機(jī)搬入活動(dòng)在項(xiàng)目現(xiàn)場(chǎng)舉行，這標(biāo)志著增芯項(xiàng)目迎來(lái)建設(shè)的關(guān)鍵性節(jié)點(diǎn)，進(jìn)入調(diào)試投產(chǎn)準(zhǔn)備階段。

正式通線量產(chǎn)指日可待

項(xiàng)目布局：近年來(lái)，增城加快構(gòu)建以“芯顯車”為主導(dǎo)的現(xiàn)代化產(chǎn)業(yè)體系，在培育發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)方面，相繼布局了增芯、越海等一批規(guī)模大、能級(jí)高、帶動(dòng)力強(qiáng)的骨干項(xiàng)目，覆蓋集成電路“四梁八柱”中制造、封測(cè)、裝備、材料和平臺(tái)等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。

增芯項(xiàng)目是廣東省、廣州市重點(diǎn)項(xiàng)目，打造國(guó)內(nèi)第一條12英寸智能傳感器（MEMS）及特色工藝生產(chǎn)線，對(duì)增城乃至廣州、廣東集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有重要意義。

當(dāng)天上午，記者在增芯項(xiàng)目現(xiàn)場(chǎng)看到，伴隨著屏幕上光刻機(jī)從制造下線到運(yùn)輸送達(dá)的紀(jì)錄片，在全場(chǎng)嘉賓的見(jiàn)證下，承載著光刻機(jī)的車輛緩緩啟動(dòng)，將設(shè)備運(yùn)入廠房，完成了增芯項(xiàng)目的重要?dú)v史時(shí)刻。

光刻機(jī)搬入廠房，進(jìn)入調(diào)試投產(chǎn)準(zhǔn)備階段

“可以說(shuō)，光刻機(jī)一進(jìn)場(chǎng)，距離正式通線量產(chǎn)就指日可待?！痹鲂究萍加邢薰究偨?jīng)理張亮在現(xiàn)場(chǎng)接受采訪時(shí)表示，光刻機(jī)作為整個(gè)集成制造中最關(guān)鍵的核心設(shè)備，資金投入占比高達(dá)工廠建設(shè)25%。

據(jù)張亮透露，此次光刻機(jī)的搬入，意味著增芯項(xiàng)目迎來(lái)建設(shè)的關(guān)鍵性節(jié)點(diǎn)，順利進(jìn)入調(diào)試投產(chǎn)準(zhǔn)備階段。“我們計(jì)劃在今年6月完成首批設(shè)備的安裝，今年12月底完成滿足良率的產(chǎn)品下線，目前這兩個(gè)節(jié)點(diǎn)正在順利推進(jìn)中。”

增芯項(xiàng)目自2022年底動(dòng)工起，僅用9個(gè)月零6天完成自樁基啟動(dòng)至主廠房封頂建設(shè)，實(shí)現(xiàn)了“開(kāi)工一年裝機(jī)”，封頂至今僅5個(gè)多月便迎來(lái)了生產(chǎn)線最核心的裝備——光刻機(jī)，步入設(shè)備安裝調(diào)試階段，充分展現(xiàn)了敢為人先的“增城速度”“增芯速度”，切實(shí)為廣州東部中心成型起勢(shì)提供強(qiáng)支撐、“芯”動(dòng)力。

“2021年，我也曾站在這里，拿著手機(jī)拍過(guò)幾張照片，那時(shí)還是雜草可齊腰、牛羊在吃草的田園景象。”廣州智能傳感器產(chǎn)業(yè)集團(tuán)董事長(zhǎng)、上海興橙投資董事長(zhǎng)、廣州增芯科技有限公司董事長(zhǎng)陳曉飛回想三年前項(xiàng)目的場(chǎng)景，充滿感慨，“如今，增芯經(jīng)過(guò)了9個(gè)月土建封頂，12個(gè)月首臺(tái)套設(shè)備搬入，今天更是迎來(lái)了工廠最核心設(shè)備——光刻機(jī)的搬入，我們一步一個(gè)腳印，信心滿滿，充滿希望。”

“這幾年，我們抓住集成電路產(chǎn)業(yè)這一新質(zhì)生產(chǎn)力高速發(fā)展的時(shí)間窗口，在增城國(guó)家級(jí)開(kāi)發(fā)區(qū)，全力以赴規(guī)劃發(fā)展半導(dǎo)體第三極，為高水平科技自立自強(qiáng)注入全新力量?！标悤燥w表示，作為民營(yíng)企業(yè)，決心與產(chǎn)業(yè)界的上下游一同打造大灣區(qū)的“硅谷”，打造出中國(guó)集成電路的又一生態(tài)圈。

做好全鏈條要素保障

目前，增城正不斷加快建設(shè)高端電子信息新材料產(chǎn)業(yè)園，加速打造智能傳感器產(chǎn)業(yè)園，著力推動(dòng)全產(chǎn)業(yè)鏈條完整集聚，構(gòu)建粵港澳大灣區(qū)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)聚集區(qū)和產(chǎn)業(yè)高地，助力廣州打造全國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)，助力廣東打造國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展“第三極”。

作為廣州半導(dǎo)體與集成電路“一核兩極多點(diǎn)”產(chǎn)業(yè)格局中重要兩極之一，未來(lái)，廣州市和增城區(qū)將全力以赴優(yōu)化營(yíng)商環(huán)境，繼續(xù)提供最優(yōu)質(zhì)、最便捷、最高效的“全生命周期服務(wù)”，大力支持增芯項(xiàng)目建設(shè)，做好全鏈條要素保障，保障順利投產(chǎn)。