11月15日，第二十五屆中國國際高新技術(shù)成果交易會（以下簡稱“高交會”）在深圳開幕。

記者在中國科學院專館看到，作為尖端科學儀器和真空技術(shù)領(lǐng)軍者——北京中科科儀股份有限公司攜其全資子公司科儀光電帶來了具有自主知識產(chǎn)權(quán)的場發(fā)射槍掃描電子顯微鏡產(chǎn)品KYKY-EM8100。據(jù)悉，這是該產(chǎn)品首次在高交會亮相。

中國科學院專館

場發(fā)射槍掃描電鏡是納米技術(shù)、生物技術(shù)、醫(yī)學、化學、物理學研究的重要工具，在半導體集成電路加工、微機電系統(tǒng)、微型傳感器等信息技術(shù)支撐領(lǐng)域和環(huán)境保護領(lǐng)域也發(fā)揮著重要作用，廣泛應用于金屬、陶瓷、礦物、冶金、高分子、復合材料、微生物、新能源材料的表面形貌進行觀察及微區(qū)的點、線、面成分分析。

同時，場發(fā)射槍掃描電鏡在蟲害的防治、災害（火災、失效分析）鑒定、刑事偵察、產(chǎn)品質(zhì)量鑒定等方面也有廣泛的應用，對于我國的基礎(chǔ)科學研究、生產(chǎn)工藝控制、各分類學科的研究有著不可替代的重要地位。

針對基礎(chǔ)科學研究和高精尖工業(yè)制造對國產(chǎn)場發(fā)射槍掃描電鏡的迫切需求，2013年，中科科儀牽頭，聯(lián)合北京大學、中國科學院微電子研究所、中國科學院生物物理研究所、國家環(huán)境分析測試中心、清華大學等單位，承擔國家重大科學儀器設(shè)備開發(fā)專項“場發(fā)射槍掃描電子顯微鏡開發(fā)和應用”，在2014年成功推出了國內(nèi)首臺肖特基場發(fā)射槍掃描電鏡KYKY-EM8000，并在此基礎(chǔ)上提升電子光學系統(tǒng)綜合性能，于2017年推出了國產(chǎn)高端場發(fā)射槍掃描電子顯微鏡產(chǎn)品KYKY-EM8100，分辨率優(yōu)于0.9nm@30kV，3nm@1kV，解決了高分辨率電子光學成像系統(tǒng)、系統(tǒng)集成調(diào)試等關(guān)鍵技術(shù)，成為國內(nèi)首創(chuàng)、達到國際同類產(chǎn)品技術(shù)水平、具有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的肖特基場發(fā)射槍掃描電子顯微鏡。

KYKY-EM8100場發(fā)射槍掃描電鏡的技術(shù)優(yōu)勢主要有方面：一是自主設(shè)計制造了低像差物鏡；二是突破了電子束鏡筒加速技術(shù)；三是自主研制了電子光學智能化控制系統(tǒng)，實現(xiàn)了自動燈絲加熱、自動偏壓、自動孔徑角、自動聚焦、自動亮度/對比度等電子光學智能化控制功能，還實現(xiàn)了圖像增強、圖像銳化、樣品尺寸測量、形貌擬合、顆粒度分析等功能，大大提升了產(chǎn)品的功能性與使用便捷性，助力打好科技儀器設(shè)備國產(chǎn)化攻堅戰(zhàn)。

據(jù)介紹，該款掃描電鏡是北京中科科儀股份有限公司承擔科技部國家重大科學儀器設(shè)備開發(fā)專項“場發(fā)射槍掃描電子顯微鏡開發(fā)和應用”研制成果的一部分。該設(shè)備目前已完成科技成果轉(zhuǎn)化及產(chǎn)業(yè)化落地，并形成批量銷售。

文、圖 | 記者李曉旭

來源 | 羊城晚報·羊城派