11月15日深圳市智能傳感器產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟日前在深圳市光明區(qū)成立，總規(guī)模50億元的智能傳感器產(chǎn)業(yè)基金也將落地。40家產(chǎn)業(yè)基金、重大平臺(tái)、重點(diǎn)項(xiàng)目與光明區(qū)簽署合作協(xié)議，將共同推進(jìn)“深圳市智能傳感器中試熟化與產(chǎn)業(yè)化示范區(qū)”“粵港澳大灣區(qū)智能傳感器產(chǎn)業(yè)集聚發(fā)展的先鋒區(qū)”“全球智能傳感器核心技術(shù)的重要策源地”建設(shè)。

據(jù)相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹，設(shè)立智能傳感器產(chǎn)業(yè)基金旨在對(duì)總投資不低于1億元的新建設(shè)智能傳感器晶圓生產(chǎn)線的企業(yè)，按經(jīng)評(píng)審核定的項(xiàng)目固定資產(chǎn)實(shí)際投資額的20%予以資助，單個(gè)項(xiàng)目資助金額最高可達(dá)5000萬元。

深圳市光明區(qū)有良好的產(chǎn)學(xué)研制基礎(chǔ)和產(chǎn)業(yè)需求支撐，聚集了諾安環(huán)境、紐迪瑞科技、森世泰科技、美思先端4家規(guī)上工業(yè)企業(yè)，培育了歐菲光（002456）、信泰光學(xué)等龍頭企業(yè)。2021年，光明區(qū)智能傳感器產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)工業(yè)產(chǎn)值約7億元。

值得關(guān)注的是，光明區(qū)還宣布將規(guī)劃建設(shè)一條總投資15.33億元、產(chǎn)能達(dá)3000片的8吋MEMS中試線。該項(xiàng)目具備熱電堆、MEMS壓力、MEMS麥克風(fēng)、MEMS慣性傳感、微流控和微振鏡等工藝平臺(tái)，可以幫助相關(guān)中小企業(yè)實(shí)現(xiàn)從MEMS工藝研發(fā)、中試到小規(guī)模量產(chǎn)的無縫對(duì)接。同時(shí)，對(duì)利用光明區(qū)MEMS中試平臺(tái)流片的企業(yè)，產(chǎn)業(yè)基金將按首次流片費(fèi)用的60%，給予每家企業(yè)每年最高600萬元的資助。

據(jù)了解，當(dāng)前，光明區(qū)正依托鵬城實(shí)驗(yàn)室、中科院深圳先進(jìn)院等科研機(jī)構(gòu)，打造了異質(zhì)異構(gòu)硅基光子芯片工藝平臺(tái)、高端科研儀器研究中心等創(chuàng)新平臺(tái)，為企業(yè)突破光電子芯片技術(shù)瓶頸提供關(guān)鍵支撐。

下一步，光明區(qū)將聚焦智能傳感器設(shè)計(jì)、制造等環(huán)節(jié)，加快核心智能傳感器、特色工藝、先進(jìn)封裝技術(shù)、關(guān)鍵材料等領(lǐng)域攻關(guān)，爭(zhēng)取到2025年產(chǎn)值突破100億元，占深圳市總規(guī)模的25%左右。