6月30日，由國家智能傳感器創(chuàng)新中心（簡稱“創(chuàng)新中心”）建設的國內首條12英寸先進傳感器中試線成功通線。該中試線以國產設備為主，具備晶圓鍵合、晶圓減薄、干濕法刻蝕、物理和化學氣相沉積、原子層沉積、化學機械研磨、濕法清洗、自動化量測等先進傳感器和晶圓級3D集成技術的核心工藝能力，同時為國產裝備提供驗證平臺，加速先進傳感器產業(yè)鏈國產化，實現自主可控。

圖：12寸中試線的工藝設備

面向新興技術發(fā)展和市場應用需求，創(chuàng)新中心將在12英寸中試線持續(xù)開發(fā)新材料、新工藝、新器件和新集成等關鍵共性技術，重點突破光學、聲學、力學、生物等先進傳感器的核心工藝，并推動相關產品及應用的產業(yè)化。

12英寸中試線位于上海智能傳感器產業(yè)園內，產業(yè)園以智能傳感器為核心，以創(chuàng)新平臺和龍頭企業(yè)為支撐，伴有精準的政策助力，發(fā)展傳感器特色工藝，積極培育和引進領先的智能傳感器產業(yè)鏈領軍企業(yè)，促進產業(yè)集聚和協(xié)同發(fā)展，力爭將上海嘉定打造成國內傳感器領域產業(yè)高地。

國家智能傳感器創(chuàng)新中心致力于先進傳感器技術創(chuàng)新，以關鍵共性技術的研發(fā)和中試為目標，聯(lián)合中國傳感器與物聯(lián)網產業(yè)聯(lián)盟1000+ 家產業(yè)鏈各領域的代表企業(yè)開展共性技術研發(fā)，形成“產、學、研、用”協(xié)同創(chuàng)新機制，加速我國先進傳感器及其相關應用的核心技術發(fā)展，推動智能傳感、物聯(lián)網、人工智能的生態(tài)體系建設。