日前，由沈陽儀表科學(xué)研究院有限公司聯(lián)合中科院沈陽自動(dòng)化所、沈陽工業(yè)大學(xué)承擔(dān)的2019年度遼寧省科技重大專項(xiàng)“全固封高溫硅壓力傳感器研究及產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目取得了關(guān)鍵性進(jìn)展。該項(xiàng)目攻克了高溫壓力芯片優(yōu)化設(shè)計(jì)、傳感器封裝結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、無引線封接工藝等關(guān)鍵技術(shù)，研發(fā)出多規(guī)格新型高溫壓力芯片和傳感器芯體樣品。項(xiàng)目設(shè)計(jì)采用高溫傳導(dǎo)熔融與高溫匹配燒結(jié)相結(jié)合方式，為傳感器整機(jī)研制打通節(jié)點(diǎn)。

新一代信息技術(shù)領(lǐng)域科技創(chuàng)新項(xiàng)目的順利實(shí)施，有力推動(dòng)了遼寧省關(guān)鍵技術(shù)科研攻關(guān)。2019年啟動(dòng)的8個(gè)省科技重大專項(xiàng)項(xiàng)目進(jìn)展順利，已突破20余項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)，開發(fā)出智能裝備工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)平臺、集成電路薄膜沉積設(shè)備大型傳輸平臺、650伏硅基氮化鎵功率器件等5個(gè)重大創(chuàng)新產(chǎn)品和樣機(jī)，申請發(fā)明專利53項(xiàng)，一批重大創(chuàng)新產(chǎn)品初步實(shí)現(xiàn)了應(yīng)用。

當(dāng)前，遼寧省2020年省重大專項(xiàng)和重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃項(xiàng)目申報(bào)工作順利實(shí)施。遼寧省科技廳聚焦新一代信息技術(shù)創(chuàng)新鏈和集成電路及裝備創(chuàng)新鏈，以賦能支柱產(chǎn)業(yè)升級、提升關(guān)鍵領(lǐng)域自主可控水平為主要目標(biāo)，圍繞人工智能、集成電路、通信網(wǎng)絡(luò)、高端軟件、物聯(lián)網(wǎng)、文化科技融合等方向，組織實(shí)施了工業(yè)人工智能平臺、基于5G的車聯(lián)網(wǎng)系統(tǒng)、大尺寸半導(dǎo)體級硅片等重大科技項(xiàng)目20余項(xiàng)，預(yù)計(jì)將引導(dǎo)社會投入超過6億元，形成專利等創(chuàng)新成果100項(xiàng)以上。