近期，國家02科技重大專項 “集成電路與傳感器集成制造與生產(chǎn)技術” 項目（簡稱“MEMS專項”）在無錫華潤微電子正式通過專家驗收。MEMS專項的主要研究任務和目標是重點開展集成電路與傳感器集成制造（包括芯片與MEMS制造和系統(tǒng)封裝）技術研發(fā)，解決并掌握與CMOS工藝線兼容的MEMS規(guī)模制造的系列關鍵技術、集成產(chǎn)品設計與封裝技術。建立專業(yè)化、具有規(guī)模化生產(chǎn)能力的硅基集成電路與MEMS傳感器開放代工平臺，實現(xiàn)規(guī)模生產(chǎn)，成為我國集成電路與傳感器集成制造、生產(chǎn)與服務中心，為“感知中國”建設發(fā)揮核心支撐平臺作用。

據(jù)悉，這是江蘇無錫華潤上華科技有限公司與北京大學、東南大學、江蘇物聯(lián)網(wǎng)研究發(fā)展中心、中科院上海微系統(tǒng)所等8家單位聯(lián)合承擔的項目。MEMS專項通過產(chǎn)學研用的聯(lián)合、完整產(chǎn)業(yè)鏈垂直整合的方式，突破多項MEMS傳感器加工工藝的技術難點，解決了制約我國MEMS規(guī)模生產(chǎn)的工藝一致性、穩(wěn)定性差的關鍵問題，成功建立國內(nèi)首個與CMOS兼容的MEMS專業(yè)代工規(guī)模量產(chǎn)生產(chǎn)線，以壓力傳感器、硅麥克風、紅外傳感器等為代表的六大量產(chǎn)工藝平臺總產(chǎn)出晶圓數(shù)超6萬片，培育了20多家國內(nèi)MEMS設計公司。

通過項目的實施，還培養(yǎng)了一支層次高、專業(yè)技術能力強的人才隊伍，累計共申請了發(fā)明專利316件（其中國際專利27件），已授權165件（其中國際專利5件），建立了MEMS產(chǎn)品設計服務平臺，以及MEMS封裝及測試服務平臺，為促進我國MEMS自主研發(fā)體系的發(fā)展提供了很好的技術基礎。

專項驗收會議由中央候補委員、02專項辦副總師王曦院士主持，02專項辦總師葉甜春親臨現(xiàn)場參加項目驗收、華潤微電子陳南翔、張沈文等公司領導以及省市科技局的相關領導出席了本次會議。經(jīng)過任務驗收專家組和財務驗收專家組對現(xiàn)場驗收資料的認真審核、質(zhì)詢和討論，驗收組認為項目任務各項指標均已達到合同要求，項目支出符合相關管理規(guī)定，驗收資料齊全，以任務驗收91分的高分一致同意項目通過正式驗收。

MEMS技術是華潤上華經(jīng)過近6年的努力，從無到有打造的核心特殊工藝平臺，已經(jīng)成為華潤微電子在國內(nèi)有影響力的一張響亮名片。此生產(chǎn)線的建設和工藝平臺的開發(fā)，解決了國內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展過程中的瓶頸制約，一方面為MEMS產(chǎn)品的國產(chǎn)化作出了重要貢獻，推動了國內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)的發(fā)展；另一方面將在公司發(fā)展過程中起著十分關鍵的作用。

驗收總結(jié)會上，02專項辦總師葉甜春對該項目的成功實施給予了高度評價。他說MEMS項目是所有02專項項目中完成情況最好的項目之一，得到這樣的評分并不多見。該項目是國家微電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展戰(zhàn)略布局中的重要環(huán)節(jié)，華潤微電子作為項目牽頭單位，在項目實施過程中雖然遇到眾多的不解和技術難題，但通過有效地組織國內(nèi)優(yōu)質(zhì)資源，持之以恒、堅持不懈地努力，最終取得了良好的成效，充分反映了參與項目的科研人員對微電子事業(yè)的追求和情懷；此項目也是推動“產(chǎn)學研”合作的成功典范。項目整合了華潤微電子、中科院微電子所、中科院微系統(tǒng)所、北京大學和東南大學的優(yōu)質(zhì)資源和前期研究成果，實現(xiàn)了科技成果的產(chǎn)業(yè)化。