近年來，曼徹斯特大學(xué)在半導(dǎo)體器件取得了長足發(fā)展，衍生的Advanced?Hall?Sensors?Ltd.?簡稱AHS公司，已經(jīng)可以生產(chǎn)出基于?AlGaAs-InGaAs?異質(zhì)結(jié)構(gòu)的高靈敏度量子阱霍爾效應(yīng)?(QWHE)?傳感器。與常見的基于硅的霍爾傳感器類似，這些基于砷化鎵的傳感器能夠可靠地測量磁場強度(磁通密度)和方向;但量子阱霍爾傳感器的檢測范圍更廣：100?nT(地球磁場的?0.5%)到?~?10?T。
霍爾傳感器在無損檢測(NDE)中的應(yīng)用并不新鮮。然而，量子阱霍爾傳感器具有更高的靈敏度、高線性度、更小的尺寸(3?mm?x?3?mm?x?1?mm)、更大動態(tài)范圍以及耐高溫等優(yōu)點，這使得其更適用于各種無損檢測應(yīng)用。需要說明的是，如果有需要，傳感器尺寸還可以進一步縮小，有源元件(傳感器本身)的尺寸為?210?μm?x?210?μm?或更小。
下文介紹曼徹斯特大學(xué)團隊利用量子阱霍爾傳感器進行無損檢測方面所做的相關(guān)研究。該研究的最終目的是開發(fā)出適用于工業(yè)應(yīng)用的設(shè)備和技術(shù)，以優(yōu)化現(xiàn)有的檢測表面破損或非常接近表面?(
迄今為止，曼徹斯特大學(xué)已經(jīng)實現(xiàn)使用單個量子阱霍爾傳感器開發(fā)磁力計來實現(xiàn)磁場的點讀數(shù)。下一步將研究如何提高磁力計在更高磁場頻率(從?400?kHz?到?1?MHz)下讀數(shù)的能力，以用于?ACFM?式測量。在該團隊研究中，有256個?QWHE?傳感器被成功集成到?16?x?16?陣列中，可以繪制?8?cm?x?8cm?檢測區(qū)域的磁場，從而產(chǎn)生實時磁視(磁性相機)系統(tǒng)。
該項研究的目標是采用量子阱霍爾傳感器作為磁粉檢測?(MPI)和渦流檢測?(ECT)的替代品(或增加價值)。采用量子阱霍爾傳感器陣列代替磁性粒子或渦流探頭，執(zhí)行無損檢測的操作員可以快速掃描樣品，無需使用具有潛在危險的化學(xué)品、噴霧劑或高強度磁場。量子阱霍爾傳感器的優(yōu)點是檢查區(qū)域更大，在概念上比渦流檢測?(ECT)更簡單，并且可以測量泄漏的實際磁通密度即?BMFL(與僅檢測磁通?ΦMFL?的存在或檢測器線圈中的阻抗變化相反)。
目前，基于量子阱霍爾傳感器的磁性相機研究應(yīng)用已經(jīng)引起了?BAE?Systems公司的興趣，該公司現(xiàn)在使用的磁粉檢測?(MPI)噴霧中的油懸浮液對其制造過程產(chǎn)生了負面影響。?因此，在接下來的幾年里，將開發(fā)出一種根據(jù)?BAE?Systems?的要求量身定制的磁性相機。
另外，曼徹斯特大學(xué)的團隊還開發(fā)了一款二維掃描儀，使用不同方向的量子阱霍爾傳感器的交替線性陣列。這種獨特的布置使設(shè)備能夠在空間的同一點檢測磁場的不同分量(Bx?和?Bz)。因此，用戶可以實時繪制二維磁場，從而進行更高級的缺陷分析。
他們還探索對磁場分析(即渦流測量和?B-H?曲線測量)在檢查期間進行材料表征的研究，嚴格測試基于量子阱霍爾傳感器的方法，并與類似的電磁方法(包括?MPI、ECT?和?ACFM)進行比較。要測試的因素包括可檢測性(遺漏缺陷的概率)、最小可檢測缺陷、局部分辨率、從檢查中獲得的信息、檢查所需的時間、進行檢查的難易程度以及其他因素。該測試于?2017?年?10?月開始，由?BAE?Systems?公司進行監(jiān)督，以保持其完整性、高標準并確保無偏見。
接下來的部分重點介紹使用基于量子阱霍爾傳感器的磁力計在低頻?ACFM?式檢查中進行場測量的實驗，該檢測采用了具有表面裂紋的真實樣本。
實驗樣本：
本次檢測使用的樣本由?BAE?Systems公司無損檢測部門提供。它是一塊低碳鋼板，尺寸為長?16?厘米、寬?14?厘米、厚?2.5?厘米。它的表面有尺寸為?14?mm?長、1.75?mm?深和?40?μm?縫隙的線性裂紋。必須指出的是，這種缺陷是肉眼不可見的。
缺陷的長度由?BAE?Systems?公司使用?MPI?測得，公差為?2?mm;深度通過超聲相控陣?TFM?圖像測得，如下圖?1?所示：
圖?1?–?本次檢測的樣品的超聲相控陣?TFM?圖像
實驗裝置：
采用基于量子阱霍爾傳感器的磁力計對樣品表面的磁場進行點測量，尤其是測量了垂直于樣品的磁場分量?Bz。?然后將這些測量結(jié)果結(jié)合起來，即可創(chuàng)建樣品表面的磁場圖。
該磁力計的檢測極限為?500?nT，能夠檢測從?DC?到?1.5?kHz?的磁場頻率。?基于這些參數(shù)，選取了多個磁場頻率(50、100、200、500?和?1000?Hz)，并創(chuàng)建了每個頻率的磁場圖。?施加到樣品的磁場由?C?形電磁體執(zhí)行，?該電磁鐵的尺寸為寬?9.5?厘米、深?3?厘米和高?8?厘米;?磁體兩端的距離為?3.8?厘米，圈數(shù)為?N。
該裝置如下圖?2?所示：
圖?2?–?實驗裝置圖
實驗結(jié)果：
測量結(jié)果如下圖?3?所示。
圖?3?–?曲線圖顯示了在?50?Hz?檢測頻率下測量的樣品磁場分布
圖?3(a)?MFL?信號顯示為異常，檢測出了缺陷;圖?3?(b)?為無缺陷區(qū)域的典型響應(yīng)，可以看出磁場的平滑變化。
實驗結(jié)論：
通過將圖像進行比較，可以證明該方法能夠成功地檢測到缺陷。盡管被檢查鋼樣品上的缺陷肉眼看不到的，但使用基于量子阱霍爾傳感器的磁力計可以檢測到。
另外，本實驗顯示了量子阱霍爾傳感器的高靈敏度特點。結(jié)合其高線性度、緊湊的標準尺寸、大動態(tài)范圍以及耐高溫等特點，我們相信量子阱霍爾傳感器能夠適用于各種無損檢測應(yīng)用。
