近日，浙江省計(jì)量院博士樓偉民的《基于多體系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)學(xué)的大口徑非球面表面缺陷暗場(chǎng)檢測(cè)子孔徑掃描軌跡誤差分析與測(cè)量方法》學(xué)術(shù)報(bào)告，獲全國光學(xué)測(cè)試學(xué)術(shù)交流會(huì)優(yōu)秀報(bào)告獎(jiǎng)。
該報(bào)告針對(duì)大口徑非球面光學(xué)元件表面缺陷暗場(chǎng)檢測(cè)過程中，多達(dá)10個(gè)運(yùn)動(dòng)軸控制的子孔徑掃描容易引發(fā)圖像拼接錯(cuò)位的問題，建立了一種基于多體系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)學(xué)的子孔徑掃描軌跡誤差分析數(shù)學(xué)模型，并提出了一種基于光軸軸心擬合的主要誤差項(xiàng)測(cè)量方法，通過仿真與實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了主要誤差項(xiàng)補(bǔ)償后，子孔徑掃描圖像的拼接錯(cuò)位情況得到顯著改善，為大口徑非球面光學(xué)元件表面缺陷的數(shù)字化、高精度檢測(cè)提供了技術(shù)保障。
