一直以來，高品質(zhì)的顯微鏡組件都是用戶所值得信賴的“工作伙伴“，高效實(shí)用也一直都是Evident在顯微鏡組件開發(fā)上的追求。作為BX顯微鏡系列的一部分，全新BXC顯微鏡組件正式與大家見面，其結(jié)構(gòu)緊湊，專為OEM集成和開發(fā)而設(shè)計。

同時，全新BXC系列顯微鏡組件，將以其多功能性和模塊化構(gòu)建，成為檢測或成像應(yīng)用的理想選擇，無論是晶圓對準(zhǔn)、凸塊測量還是圖像拼接，都可自如應(yīng)對。

系統(tǒng)設(shè)計和自動化高級選項(xiàng)，效率再提升

多功能定向暗場

暗場用于觀察來自樣品的散射或衍射光（例如：鏡面或半導(dǎo)體晶圓上的劃痕或缺陷），而MIX滑塊無需專用的暗場光學(xué)組件，并通過16個可單獨(dú)控制的LED增強(qiáng)了傳統(tǒng)暗場，使您能夠控制照射在樣品上的光線方向。此外，這種通過使用MIX滑塊實(shí)現(xiàn)的定向暗場技術(shù)，可以與明場、簡單偏光或熒光觀測相結(jié)合。

自動對焦裝置

在BXC-FSU中，1級激光器使用主動多點(diǎn)傳感來監(jiān)測焦點(diǎn)位置的方向和焦點(diǎn)狀態(tài)。這種傳感器針對低對比度的樣品（如裸晶圓）效果很好。使用獨(dú)特的算法可輸出穩(wěn)定的對焦信號，而不受物鏡放大倍率和周邊光線所造成噪音的影響。命令參考手冊、指導(dǎo)手冊和示例軟件，之后可在我們的網(wǎng)站上自行下載。

多種多樣的物鏡轉(zhuǎn)盤

隨著自動化需求的增加，對電動物鏡轉(zhuǎn)盤的需求也隨之增加。隨著自動化需求的增加，對電動物鏡轉(zhuǎn)盤的需求也隨之增加?，F(xiàn)在，U-D5BDREMC-VA 1級無塵室兼容電動物鏡轉(zhuǎn)換器，將使用抽真空方式來清除灰塵和其他顆粒。

系統(tǒng)集成化，快速、簡單

BXC-CBRML和BXC-CBB控制盒占地面積小，無風(fēng)扇，有多種安裝方式（例如可安裝到設(shè)備罩殼內(nèi)的側(cè)壁或頂部）

根據(jù)控制盒的不同，可將MIX滑塊、明暗場照明器、電動物鏡轉(zhuǎn)盤和LED光源等功能集成在一起，并使用您的軟件進(jìn)行控制。