【儀商網(wǎng)-儀器儀表招標(biāo)】復(fù)旦大學(xué)現(xiàn)就電子束蒸發(fā)儀等采購進(jìn)行國際公開招標(biāo)，歡迎合格的供應(yīng)商前來投標(biāo)。

電子束蒸發(fā)法儀

電子束蒸發(fā)法是真空蒸發(fā)鍍膜的一種，是在真空條件下利用電子束進(jìn)行直接加熱蒸發(fā)材料，使蒸發(fā)材料氣化并向基板輸運，在基底上凝結(jié)形成薄膜的方法。在電子束加熱裝置中，被加熱的物質(zhì)放置于水冷的柑渦中，可避免蒸發(fā)材料與柑禍壁發(fā)生反應(yīng)影響薄膜的質(zhì)量，因此，電子束蒸發(fā)沉積法可以制備高純薄膜，同時在同一蒸發(fā)沉積裝置中可以安置多個增禍，實現(xiàn)同時或分別蒸發(fā)，沉積多種不同的物質(zhì)。通過電子束蒸發(fā)，任何材料都可以被蒸發(fā)，不同材料需要采用不同類型的增竭以獲得所要達(dá)到的蒸發(fā)率。

電子束蒸發(fā)儀可以蒸發(fā)高熔點材料，比一般電阻加熱蒸發(fā)熱效率高、 束流密度大、蒸發(fā)速度快，制成的薄膜純度高、質(zhì) 量好，厚度可以較準(zhǔn)確地控制，可以廣泛應(yīng)用于制備高純薄膜和導(dǎo)電玻璃等各種光學(xué)材料薄膜。

一、預(yù)算及采購內(nèi)容

1、預(yù)算金額：2100萬元人民幣

2、采購內(nèi)容

●電子束蒸發(fā)儀 2套  預(yù)算金額400萬人民幣元，要求：主泵采用抽速不低于790L/S的分子泵

●反應(yīng)離子刻蝕機(jī) 2套  預(yù)算金額300萬元人民幣，要求：射頻源采用射頻發(fā)生器、并配置自動匹配盒

●光刻機(jī)（Mask Aligner2套  預(yù)算金額800萬元人民幣，要求：光強(qiáng)均勻度：優(yōu)于±2.5％

●掃描電子顯微鏡  2套  預(yù)算金額600萬元人民幣，要求：加速電壓：0.02kV～30kV，加速電壓10V步進(jìn)連續(xù)可調(diào)，電子著陸能量范圍：20eV～30keV（在不使用樣品臺減速模式下）

二、招標(biāo)文件的發(fā)售時間及地點等：

時間：2019年12月26日 09:00 至 2020年01月03日 16:00(雙休日及法定節(jié)假日除外)

地點：中國上海延安西路358號美麗園大廈14樓

招標(biāo)文件售價：￥500.0 元，本公告包含的招標(biāo)文件售價總和

招標(biāo)文件獲取方式：現(xiàn)場領(lǐng)購

三、投標(biāo)時間及地點

投標(biāo)截止時間：2020-01-16 10:00

投標(biāo)文件送達(dá)地點：邯鄲路220號逸夫科技樓3樓303B會議室

四、開標(biāo)時間及地點

開標(biāo)時間：2020-01-16 10:00

開標(biāo)地點：邯鄲路220號逸夫科技樓3樓303B會議室

五、聯(lián)系事宜

招標(biāo)人：復(fù)旦大學(xué)

地址：上海市邯鄲路220號

聯(lián)系人：張老師

聯(lián)系方式 ：86-21-65641327

招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)：上海國際招標(biāo)有限公司

地址：中國上海延安西路358號美麗園大廈14樓

聯(lián)系人：王曉、馬骎

聯(lián)系方式 ：86-21-62791919×192、176